1,000+ Opportunities
Find the right grant
Search federal, foundation, and corporate grants with AI — or browse by agency, topic, and state.
URL points directly to a .docx application form, not a grant listing or RFP page. The MICRO program itself is a tax credit incentive program, not a traditional grant.
Manufacturing Illinois Chips for Real Opportunity (MICRO) Program is sponsored by Illinois Department of Commerce and Economic Opportunity. The Updated Manufacturing Illinois Chips for Real Opportunity (MICRO) Program reaffirms the state's commitment to advanced computing industries by defining semiconductor, quantum computing, and microchip companies in their R&D phase as MICRO eligible.
Get a weekly digest of new grants like this
A free weekly digest of new foundation and federal funding opportunities as they're added to Granted. Unsubscribe anytime.
Or search similar grants →Extracted from the official opportunity page/RFP to help you evaluate fit faster.
PK ! �U~ # � _rels/. rels � (� �����Q(K-*��ϳU2�3PRH�K�O��K�U qӵPR(.
I�KI���K�U�L-V���� J�I,���+��,(V����+�U�())���/N�H�M,��/Hͫ��I�/�M,)��/J�/HL�NLO�7200�/B6C� �L � [�"� c%��ʂTb��OK�LNu�O. �M�+�b�~jEIj^Jj�nAQ~AjQIfj��BHbQzj��RJ~r@Q~A�~bA�^En��>v �"ܾ��M-ILI,I�O�/J�� � | 2$�A� "T ��)�/J�O��->טP�5ɥ�%�� � � �$}��i PK ! �C��c� c �ɉ9.
�РH$� V@*�� A9�� B�ݨ�h � ȱ�%E�%� fZfNNPjr 8 ��2��� �� �W ��V iE� ��ii ��2�b�{@R 5v6` A� f d&�� �a�T�̇d H� b#�! P ) ]�* �� ��� ��E8��231r3 �� ! ����3H1R�elhjfal *���/3 K g7 SP� +L�U_%�I� �$&�� P� rWA~����1�� EV�� �+!
pq R 6 T ѾZ41 9��j� T �[AkE] ��AP)�[��b�� R�X � g�z�0 ]#�Dq L�� . � ���� * J��� ���6��@� ހ % h�K���܊4��[��5�@��T[�����Ԣ�T%;�ļҴDP� �|�������,Vp N(�� ) �&�(� � ���e�T*8&�(h�z: �kZ)��[��31��W�5p`��f%$ �? ��� @�u*-��K- :~�g C X ���1� ��A� �#�5��|x Q�����P ���14���z *R�L � -A� � �b�v��������+j�������� ܝ!
�]@��� �Oh� j�X�:r�J��D9��ѩ�e��^? �b�$) y%I9�ڳܪ$)'��2' V熀�k܋@����CIRN�B�U9��ZnURY�j� Qh�+I����φi70q {>-���$(� �{+��I�� ���9���y@P���a `%y� N�y)P[��� h� 8�B ��qD �C. ࠂ� F� �;�Wۤ� TM���&� )�!
j�b+�u4�� � F� \�`f. �۽nF . � �ޤ������Ҽ p� �" �HLI�Ur� B��� �x@m�c� f��� �A ��f3KKS W#��Y �2ۣggH{ \�CZ�� �hQ *� ]�- �u �� .
��T (̍, �L �Ѻ_&�&�n�. ��0 U# �͆�� � ��- p* E/dt ܜ ��[ѤB���r�$P; �T u�Ë 2��A� x|�V)1' �Q � �� �� �0 -B�ftD� ����� r�� �� Ɨ�i�� � Z2G� �t�'Ɏ�����L#ّ�nД>�ԗBn~Q�BIFb�B~^�B"d ��_n�� � L,-� z� �W�(x� �$�)x��}JbI������������Y������������E H hŊ������� ��"�)��] �����e$}r6� B ��� � 8}�f�@�$[�g����ԒT � ��]� \�� > �N a { W HO�N��. x� oj2x����Bf�BIF*��=X JbJ x�Cbΐ� � �����М���.
��$19 �Y ��7֬9X� � mln��: ��bh� �i ��&519��(� � e �� �f������� dm �*RM�ӵ���� d:�N����"���f� f��,����1���8 m��! ��ΕBf1����W ZLX��XBzț: ;A' ����3sHoS �ԭ����\��X Z�Fr ����O*�Q�M� 9 �"��+K-. 5�t �RH�� �U��"��I���^ * �&�f�AC�do�?
�qx�$��d� �8HJ�KM�,�C� h� 4� �: ����&�͌� AKA�c� V�� #ͺ���[8 8�ͺ�� �8�@���5�:� �a�ʠ� /�hP aY �Xlg � l2��(�� �8S�����% D0�b������� mH�������r� ���"�� ƶ YM>P[�-ҕ�R ���A"�^ � � �Ȉ�9�����8��n�� W��� �� }� �����B ;�=G�P/|p �� OF�: ow ���������3h� �W� N�. �E"�" �-�� �P1D��P1 ; �� ��#3WSW#S#P� �+hjfnb�j��>26vur2� �q�;DB`胎3�$Հ0g�k6Oge����B� �@ =�B�� / �?
�AB�50�+FJ�&���Άf��+ș Z��N���\��� ��B�wPQ�m� eಒ��������� mJ�������x@�f �f :Z::[�A7 � �L̍�- � ����� �d��ˑ�x��Q �K�-�ɯ ��UpLN. Q ��22Ǿx } �j� {9fn�dj� �r5Z�Q� 5���% � �A���� ������9��-�f. ����%h�:�r ; ՝x�qƎ�nn�f O!
���] � M�A�a� �������#d]�� �m �i����� i�1 7#GИ6R� -Ҩ5� J hW〪" sG"o�1�Z"��� ���-�517u57� mT���>Xg0!] �d-҅K A�! �!
R��� ۜ Zz �;��� �{��y����T����J�9ͨ �q� 6Uk�d�d�l�d@�c+I�,� 8&jQ�. p �`����9(@p�s���,N) y�8� :� �hq� �H�F���˭�qQ�R⚗ P �� ,윟W�� �0�>]P��jafh Y��^6gd� ��X\�X�� Z�� YG���r� Ǽ�L ? �[��� SiL �zI-� ͘��w!
a ��� Z- ��@�q�N. �nN&��j� ��OHf. �p 4����"P� � ��� �j3Pq ��� � .
�ʴ! Ь� A� �Q�+((���9\�:CSKKC3sC�11� ��. �,��� �����9w����u�Rp(W�8n�@��#��w -�s��J *�ѓŰ-�,- LM��-�ND� ސ mւ��#�Y;��zHs ��G�B ��pv>>�$6`��( f� {]7�� �XG�~� R��j��%�aZ� �Y C�k� ��� 8o8 � t� �` ��BK� A�Dm7:X�vi2h��?
��5 -_c/�F�X Q 2��y���ұ� P�t. �0HZ� ����KC��� ! D� *�\ �� ' e&�P���'ۿDNAa��5��=5�v dE �)ޠ m�':��� L]�k�`�l��,�̝]!
�G� ���g�e� �BD�UФ�����2ԑ ������� ���� s W�f غ #SKSGC��[�� &�n �����φV₅*(� ��ô�mjifaln � 0�G�)hk ���*�z* W�&�瀦 � _Xd�L b� �8� ྲྀ��Q �XAE ����&AB�� * K��&�h� 3P�)*G' �\2��R� �RRS @W�z��d��g +d�%��*�$V( � � � ��3�$� �XBY Gj���F̼����������p � �L�� ��dqJ�p]qBI� g�Y�XY����Zx����f'hx �� ��@ �� ��� ��}$5�ኑ�b���� �:�LEj��[� 8�n& � � � `1� �톇 � | x �gdj�h�f �u� �F���nnf(�� .
x)�i T7�[�D� P0C� �aNP��m7��� 5�C22� ��s �* @� + 9�� �5645r5w�t��W��h �q P� �a���_�Z� . �SS� D�fjdbh�j iH ��K�T( �%��&e�ArZ~�BIF*,�啐��� �]��! ��0 .
R�b '�bR�b � M��b���z�%� ��ñ��519��@2r11rvqľᐺ� ���6�H�kFZ�N! ���� �z10��Ԇ_�cW\� � �(���A;� H��� ���̡�. C�-�n �{�J�IM.
���#У�U����& ��� )F �7w3�0r _�4 ml�bhbbi2�;�N }� L)m� M >A1 N �+�t M�� , @'܂ ��nJ =� Z� �*�g A9~�fcJV�8 �:�x��+x�; CWƠ5��i�7202771� ] 1��@��ѓW�� FB��u� e� W O�0�� _��� ��=L� ]CK3KC#cC�a�4 Ԁ =� t$Ո ����% ����2+R� ���φ�o`� Z�j��YT\ � 2 4 �� �! $��sJs�l�@kU�@�0 ���| �ļ [%(/ �3 ; r�,܃ �� � �� �w@ i@-y+ q#KK��W qsSX� E�� �8���f���9� a.
C�W����� t� �u � �x������� ���q݅` � �dB;e b� � ��j� �y Ur��� j��K "� k{������ ��6�t5v1w�\�0�^ �%'h�AHfI 9� H ������ aj�dj�l:��! )�Z ��6suvr11A[�MTAmd . l�)�-- �ieA�� �D�(�hy� �9�P �9�d�ë��Լ��"X>�U�t(DM�,L,�[�f�n Ɔ(�� S!
j �U�T�"�)�V�� ��J���(8N��a� R`Ӷ̅ e��H m�� /�ևn��]⁊ Pq K��Uy f��� c� r��d�EWn nkТE �����2s5qr�p! b �`*& �����A� �������& J [3������� � �͆�� mF�J�! ۭ $� Cc'C#'c��z3�� ����T>�6#l�B2sS� �R� ��s �@���b,��`� �(��f �`� -A�ی0pu1ru��V� � � V�����5u ɃT� 9�� �9�� �g�bl �ݧk �E�hF�1(;�� �V S�� \�X���723�������*� +��dd&C���Ī4 j(�N�X��� 6��p׀ݦ ;H� ���� Af$�SJ@�KS��!
Krs885=? U! �S!
�27)? � 7�1�8�V �Ljbq�cqf"�7! �m0T�[蠟�G3&�� ���>�pAi�d����h���>�"�k�P� �^�>몠 � C�,8�A� � �kdndfdjh2�A ��3�g h��H��V� �� $8��$�h�e C Ccss#cKSx .
���4�� �BF� ;Y��C��sAk(� u �|bfjjja`i8�KF�r+h�IBC � �� � x� �������#�C� � �������#�M6�c/T { c�f ��Ζ� ��n- e h� �� ф�� +� v��������e4�� �a������� |0 � �������1����1��1V�J��V b�U���������r�� 07�4204@;K �� ]������A����������� ��GcK c Cg�K F'R�O�� �R2��khnblafia = utq �% ��+�HoP�b�5�0417454 �� D �A�A9Ȫknljlifbf2� bt#��n� ģ����Ʀ�� ��ƣ�d4���O`kK�6�jhjn : ��y�F&fF F � 0̊�H 7eY� ��d`ajll0zN#��ܨ0� �Fp�$#�M� L \����!
7* �Qc +�qnn��lb �D �i5�v��;�A�(�5� ��t �ì�f��N�App� _% /��Bx����9�ė�ĢDЭ� n�F�����'aqnf��ddbh8:̊{X �� �5(�G�Y) f5�03��02 ]�7:�4��H�r����������b�s YM�ܜ� �@C�H� && �n�ff�����䣃��y�� ��+1� $ rȗ^� � Y ZZ ���G[�d����C �C�� &�F���]��! ��! V+���H�� ZX��� ��A�f� � �x���������rt��h.!'
��z=�n ������! �� � �������)Z/��������d� N�/ [� � /o�ƕW��� ;�9�Z � �8:�N�#x � ����������:��n2ƌ@� �� D ��a�������� m��������dt � �e��2VJ�� � ���69z�� 9 ��>�jdfbjfj::�0�/ ��1(W� Z �Z [��NЍN� � � ^յ455330 ^ �FȩF�8��_nU��cgSnU�P ރ ޖifd�� t �* � ����Ѓ��\R� KsJ@2p�H[��̝��-��0�\� ,��*� �3�� ʭr2�Rm��@� ��ҜT[��Ғ|Hub��� refzF����1� f���PnU��c���_� U ��+r��+)V(�5豌&��6��*I t��U�s1� � �x b� -L�� ,���� $#L��\M �Aq�� ��������u��)z ��� �L ���ޤgܖ[�� ��!
Gtn��cNIjQ^bI�s~^Ij^��Mn��sF~fr�BPjaifQj��RyA1��)E��y�v6� V�y� �E E�9�%�e� ��|adjhfjadb��������⒟ V������ a&V旖x�9����* *)$������ �$ � � M�. m�626��p� �Z �HM�, � � :����d/���K� lK%� e� ����̒�� 4���� ���&f�� � �E� ���L. �/�O+�K����OK�LN�/�/J� �� f �'� g� g$ ����ت�� ��V�~e� E % N� �t ��� Jy�� �y驎EE�� ��)� �l_ � 1� dJR�o~ �� �T�V� ����г@�UjE ����h 3�����=5?
W İU*JM. Q �X�S\ vQ� H � $^����▙� � �'9� )�kD70�Da� ��� �. W�n�99I��٠4R��\bgSfU ��%� ��R2� ���K� �� ���R@!
`�ddhf`� &� � Jl��j K2l�rur �E`%:9 �" 2� � PE ���V� �g�*d�g� �T�ڨ�l � eV � ҋ S2S�J���� �t�Ur~^^jr ���L � �H� � �W(%>�*X�g��T��SZ�j���Vbe`]�ZQ������g ��D�. �m�k�glZP +�/�21ҳ((�. % +Scc=K�� p#����X� į���KI���7*��2�3�2s2K*��̜T���|]P]� v� $c@DA�� � %��� R � M � �"J�KN��� �^��p)�Ӎ�̰� � @V��%嗔��Z!
���Q7#�(�*? �$1 � wbQ� kkYA �G�:P ���� �4� P��� G Z�` &pxbs T9�T�. � ]HB�*�/�� P� �e� �̔ iR * �G�V�i )�%��J���.
NN��N鎞�������F�U���鎎���N���! �p ����������0��� � ����$���Ps _''75� GkK����4�p�P3�@�� �Ho�` �| w�� � ���,S #w��p��*}s��R���l7_w�t����B � G�� Ŧ�f�E�e%�9. �^�N.
����^� 9 Ef��i) Y� ��E��i�Uڡ�y� �接i~��)�f��^� �� . ��.
` �sB��2"�r�\3sr����R�J��M+\�, �KC*#��L�2͒ M�+��-� *s 3}��M�S�#r�}�ʒ�-,�� �� F��U�� ��y�x�T� ��z{���� �:'V�� �Y�[�G � �Z� �� �:��� F�����g�ef�[��W� �*�HM�)4(� w1˵pttt��/�uČ,G �` }CPdy �"� Y �^9I �e>y^9` � �偡����Ύ�� ����193��� ����1��ѥ����=�2��2;�8�497� \ �V ��� �Jws�L�@��l�� Cs�� �� � �}�\ � -�L�B#�r�C�*Kʲ�R����-��*M�����2]L �2 �Mӳ= � ��2��̍, ���=]]B��CJ�� :�XDF���䙆����z Ue�FV�F z :��Gf �x����De�;F�V���� U�Zz� G �$%E Fyeg� �k{�� , 2//+�0K4.
-w. I� ���K�5M (-�0��w-��0��7 �ʌ����. ,�w )+1�t�u�1r O*� _^E���� !
y�! >n���~��F�n�a e >��(U��c��������#� p�p e(/ mP� �B#�� ���n%. IF� Q� �A���aU ��b�"0����'� ���� 0� {Y�2����9 ��E5� $�\ %y�a50�� ��t P J Uc.
`���X � fa�ݕ` bM�(f: �,� T�bdZ Y��nX �Z�� q���c $ -@��t��ak �E Դ/I�(��� �i���t��Y! �bh` j~C����;�_Z �C;k�� ���螁x� ���]P 4x_�� P �4��01 ��! =z[% 7 K sШ l� ]��q�Ww�3Rp,(��LN�+Q� �à�8o� � CF��9t wА`�U�] Ɏ ��� �l�� gd ��|S7s� 8� �@�dW �s �D�Cz2300pu�k2���ļ � ?
X�=3 �~$9� ��G�5$����` �ٙ�" :u��������_��Z � *�RUN~2�8 ɀJ�J��7 շ �#�˭@KS �/AC# �-AC#P�B�P�X>hf�fj�h����������� \ A �+�L�/ �M ��(@WVB �� �� . HLNuq�-�! ��UZ\ ��� �� �M�� �~B��&���� B � � �0P A� �A �2 T� ˭r �K�R�RR�RS �S��R �ACv�}������� W*�� � �Z���AY����d�� >&��+ �Kg@� ��%� -� IBV Bڒ�e����8 )�� [� ˀ�b38 l��Y�hd`hialbjj��X Yjt���E��F�B7� �k ������E�� � ��F B^� � ���^oehijjl �4 i�?
�� P �� ]� Z ��� �� T� �u������L�:[%�"3+��? � 4�R9 �}��z�� $�� W����|�+�� ���`�� [�� ���� ҃pe���ʾѕ} �֣+�����ϥ*/#%�5 ��/yte��ʾ \� � V ����� 朒�V�jQ� T�� �h\�W��^�c^d���\�_�R�c���U`�kb�� U� Z�X\Tj ^���\�UX �Tl�o� �m�� n^��S jn ��\Y�Z �랞旙�m �Z�en��o��m ,�@��'�@G��܂$c��l� � �8�UT! ��N!
ž�. �Ie�> . Q���aY ᐅ�f���� �.
�Ή~a�I�! �9�IE��y�y�~���iy�� �EN� ~f! �e�Ŏ& ��~~!
��. ��N�! ^��%` z ���Wx�[��x ��e�� {�T& �g�� � � e� DV�e �{� i �����x�d�&� ;y ��� Tz �T�E � ��� q�456�(��6uJN30H+NʫH.
����/��1(��H+�� 15� 2v���� 0�7I� 0�q�2�L*� �p�p�,���+1- t����( ������ 5q. ���� L3�A �! �����$ �Q ���}y��B��}NQ^��&�d� Zg ^] ���S �2li���}��� [,@{��#P$�������Q �� ��-G=c�az���&�X�.
�E~V$;������ � ��� ��� �cwyHFf�BqF~i h�7d��`�� F �8 H i�FHf ���|2���)� � r�>Xr y��` yȎ��! �� �J Ի ��PyFj�Bf�Byb� (7�� �� �5 1aWP���XT���� ^W�TZ���Z\����RZ\RT���\ZT��W� [d� � :��$��XG �E�3''3/ T9f��B�\� � � �K2R����*� Y� ��5B$�RsR�@���s�C��E��m� �s�B�o @r �Sł1�H�"dczbJ�BqiAAN*h� ( $�� �� 楂�. M,�D�~ ڃ �� D7Ƥ �#���,]],�@ 呖���[ Z89:�'R��A �A� ��t@� �M U*�*IL* ��$1 � t� ��� �!
�f �� �TX�����g�� AC - *12! ��� � 2! �\ ��5%�\3��5#�\s�sA������T��*XD A�}�� �AǬ� ١��r �~A{h@4(��� �������� �Z�@�À7;������� ����a�g�A{*@s�f n�f.
hw� YZ:[��A���� . H��q- �� ��'�p��! ��V$&�@3 �y�� �� � M� z:9,U�B�� 0� G= �+$:�ޢy t1 � ~$}�t��"�� қC� \Li � /vo�W& xoj�^�[�� �P'�Lz�O�t/�L �/� W(�*�U2407 ]�i �A)�" ��'??
6*c`� :z . A� ��@ � �! $��sJs��w B �� ����{8%�A�� �M �� ��� r0(�� e�8��r+ � ԁ(�&��I: qc �⠃i�� � 4��� �� �� �y, t � |S$RV2q ]�g�6� ?
�� h� � �Դ|�M���! �TnU ��G9Z쁜 5�$ lf24]$C� ^��AU� +�Lr���V� �8�;��] l�f�d�h ��7�� h� h| �vA �Y,h@�d8 �� �� DI�� �1=� �Ir �$\������� �H� ,́\U MO%�� ɑ ��,� �LM�*4�\8�� �ĠH ,) ܵ�w�/J�L�Sp�/�+)Bm�\K8 ZZ��3z� *q� �`u dm �0�&b: �fn&N.
� N� u�c�f��l ��q�ơf� � ������� ��{4�ɈtZ�8& ��f��Z #��1r�05u4��� m �� &u�� �]C# Ws7� N�} b��8� ���1wv506u1�Ӟ ��xr4-j S'c 3 |�숩qL\-]] ���F�'��P 5���������h�C� �`�q M � MA� �G�8���c``����o~z��8�n&f�NN��8�qT��������u�� A5��������h �� MJ ����� ~8 �u��N n&Nf�&T�J���e + ����h Z ZZ�6��L������ v� | $ty;�p�H�k�d�hf� Z�=��%���3ri�ǁ�#��n�l��f�4����Ѵ�q � -�-@����w�� � ���d�EDf��Y(QaT��������� tq ΄>:dJΐ�`�q �� �L��R�F:�H�E�cb�d�d�o�a k P �_��Z >�2)��$?
� v�S�Ur~ �(��Ғ|����*[%�qF� �ɩ�J�Mp��K� �A �m`�2mMqqg�j��jl ��? B�_ CS � �����zx�Ȭ M\L\ �G{ d6�H����V OY�^ e�j�fln4����� h\ �Ίr+�ǯ��c� �%��5��k�I\ ]n �� ��:/3 |b*� G�8�> �r � E � �Qc�� 0�b�� f�N��f ��y(4 ���# Y� �ir�F�U� � z�����k �ց х,� ��7p� t GH~Ib �Ej � ;���˒�� I�U�y�d���4 �������1ޕ;C! K�sS� M2/�N�6�02 7� ԦF� �nF��F �G� �JRA� ��_� -�U ���Q'� y�f�g�� ��!
h��U �5D� ��l )���� � w� ��-�H�ٚ���X �n���(-3' ti��� �F�H�Mu ��V�@� r �����~ �psc37 P0�# y ����� tİ �(�3�V������� �� C c#sK C��S PnH�^� �ZQ � Ib x'VIb , @ P0 � �*��� �/p�� �s�04"h�� A%F& � �c �[� {Ȅ�sM ;ה�s� ;�s�a� %Ahl���e�+�[Ao� � ������� m+ W� � 亠r��*�b4A�ҩ� T CG���X��j�z�y)�E�) ��NE���І H �֢���TpB � �� h`���6h� +� d� �� H,*Qp�RP (��JM. Q . ��M�w ( s3530 �+ u Z�p�H-aS sC K��� A�� >��% �E��E� �@.
� T7[��;�4�� *�A% x7h� ��c�d ��� �e��_ � ��c�\n�� �$Y'WSg#�1xಟ@ �+FJ �F. N� . �-�HI�������� wu0� ʭ ��33��)��p�+�.
����! طr�3 ��U . ����P�Xx� �� n� � ��� -s �� �ͨ�A|5� � Džǰ�d(�y Q� U{ �v� �.
�D*�A� ^� S�Z:# ����ݜ� �am� ���F���nfn�l ���ָ�H ���%�ř�XKi\e1�� j�� �@4Z a�laa�b �2�� \�A#��) �4P9��� �/_au(4 �ѡ8�3Ϝ�̼��bP 9�(1W! 5'3=3)3'��R! �(�$�(3Qa ��.
�x � G,䂮�N+�ɩT( wQ2�RS ��� >�� �('3/[��*3�V)�(����251515��� r 5J�Ol�C f��� �VФ�]nU � ���! ����^b������af�ByjRqf F� p. �5o@K ���q$ j$쁈_�8 ,�!
g ��v��=1/E�$#U! 3�,��$75�D $�����\��X����(�2��sLRjN~95B�-? � 4:B�� R��=��г{Jj�B�UbiI �0����J ����� L� \\����ÎƎFf&�= �L�� !
%,4}����+� ���*3� �= /Հ �Zn�W�� �X �� [ , �Ch�����)L L-�� :��� ֗�Y���C�B�`'�֔@g�p�f�� [[n� ,� �M��� Aohb . ���+�l@����� l 4�a SS�K KR �Ff���24�J��+�UB� (� M�J�b� M��Щ r X#�m��V��. N)q�K (�� � ��%�� �@SDɥ�-R�� E�ũ�E� � ߔԲԜ� � pf xp a h|7?
âb ��� l �I�̃v � �45wsstr�p '�A-�� �� e�Z f�A0�e Y��4� ii�C�{�p� E P���}�) u� �������ܖ[���&f㝠�7� �� �y�� �f � ��kH~�K��W3 �bD $�! ycXD b�� � #c* # �䆔���ӆ`\`L ��( |q��w���p/FQE�ѵ��5�l Z 0 c ޔ�6��G�P1�150�1��!
X` ��| F��,�� 2K s�`| � +3��(�, 4 (��A7��Ξ14 � �C�A G ��@�V �� ����6H�b� �|X����a �qa4 ���lZ% ��t�� ;� h�ax, �k �i\� 7 �� > � �I �� �ާ�T����� �� �� %� �G��l�p eba�6� ��ɥ���D�'��� �qBC�V&� �a1�4$ � Ϲ����� � `X��L �R� E ט ck�/{ �5��t�ϐ\1: �mi�4Q8 ���t b~�P�醹�hX�\�/� ]_�6�0 ��/ � �f ��d(� �s�$cHN� Ӣ*q�� wa �b�����Ģ̜ʡXZ �# J�S���ô�"�{o��r1N =�A ���`h � � �� C��t��� �xe�RcS3P2G��` 9�}P ����V ��@ ���� �ʱ Ǽ�L[% 1�\C���d���[�������� � ~c��?
��]M � L�� =*22�Jl�` JZ��ə� �? rP�,� �) ��/ rMd�s1���� �G3&��y�/�*N) 咚W >� ���ߝ -��@^�t63q6��U�= ���Z���Z� ��� ����m�Ɛr ���wi���@�3��:D� �G�Q�E � ��c� ��E� �mr�� D4��k��]s1�"� �� �w�� �F. ��s��tF���C"*� w�Ab� n ^��� �6B0K����`�$G#����� A� �3�5���DÖ��*8�>�E����� dm�`� �A�{�JKR�0.
]�E��a�y� �i(���l! tW� �� -��! 0hr;�3���En ��Ҿ� � �h7�jhU���(P�P .
�`�H@ �@ L I � :�떟WR�Pn5 ����|he7� &����� ��L�X � n& � �F{i_�! �ʀ�u�. �U � ,�bH�Y o� �l1T�ɐ{�� oR� �׀ �Ю x��` 60 Z �^���f�� H�e�� C� ��y�� �P� +������W� 嗥��� �� 1/E �� 3gGCGS �E �v �͂r+�� ���Xn��,� � �^㐘� =Es� �D�n'� 6�d:�f*%��`i� �S4���# [ �ҕݐ\ �; z���َ�IL�\ ��?
�: Kt��Ǜ��99�;���H��r+�َƨ�oF�v�K-W �� =۱�,U� ���A ���َ�e�8V@aY�B�u0�g; �S=�����َ ��1& �� D��@� d`� ����َ�i���َ�� \H����$ �jP� C1J��*����T����12X ��wa$夎��`���! �� ��� ͙s#��G�E�^�XQ�X9$�·ig01/e(� �t G^�hd �J�(5'�$5E! 7 t�� ��a: �X �+�d�� AG��D ��mP� �&��.
�\� WlhbU�X� ��������Ŕ�Ź� �H�T+1%���$(3=��3/ v� d� �$x� �[ ��� Wn�V$&�@ρ�ܹ [ �D�# @nDuw�KjZbiN � R�564s2ru y )�B�(D���m� ���* �1�D�� }D � c` � P��� �& ��V��O ��� '/��p$JH� �Din�fl� ���Di���X[\� �D ���q ���QO��������� t�6��� C�g`nj�l� ���z飥 � �� �Z˨,H-��� � 22�K�*��}�Uf��R�g��1����� %KX)��@� � ˭h4 �+��硎���U�@��ԼĒT ��⒢L� �~� �9�c_�F� �F �S��]�AV8o��}A �S��S B= �+s��s@c`�=�Xd@� �0R/ ��o �* ��^]CS # c# � �ٌ�T�t F". � ������. n� NЭ?
X+�A ڏ *�H;�4���b �̼��dЂ��Ē�b ps6U � (1)�H�1�(5575�DA#��Q e�o �q����̝F۸T� �2 C sC s�� ^�gV��� l� � �z� O� � ���&�=��ĮPn �bl�D돂�uf�B@j^Jf^:J�F���� �� �] i t� � ��[�� �` a�,- ����v� ��8;�9 ��0���A��-P�"�l˭P"���� `'=c ��� �9��: @6a��)�mƦ� a�`�T�. ��� 5? O trPbQr�Bb^�BJjYjN~ x�>3 Y0�A.
�Oð�XG Ź�: 7�\Y �%�* ;$? � � ��� �' ? ���[e~� �� ߣ�nKZ~ ���QH-I�C]�@Ls��� {鮣��_ �rPh��If1��`�� �!
烤�@6*d�*$��%�$��c�$# � �! ݧ&N&&�t��숽� �� ,ɋ� � {� �eP��vr1Q���� ��7b I���^␞$�,�LLi [ r��'� z�^e ��H�( >����ى��wu6vt3��Z�Ѱ�V� � �B����X����r�S����� ��H�`�#� �0540�k��=� �H���? �q��(u �� � �����`ȍ�gE�'o2�2 K�� Z�RI eKS37W3z�3v��tbn~i^ h xqaibQ� 蔻�t҇&L � ���~ �K; sC7# z 2��.
%5�d� � � B� �4J 9 tsqNf�PH [G�$�$1G! +? ����� ]�Qv�%����!
����RA�{��l,�� ��F h3 � H Jf��A�A�74�*άJ J��S�� ��%�)% v �� Y ʇ��j(z��T@C̀�3ȦBEP� � Z���V����F ^S���&[�%��$%&g��U��%v6eVŠ� .! Q��b����J� �*1�8? ��$� �J]P�ae �� X Ꙙ �X��B����@� �� וV� Fzf %�U��y)� V�к��ĺ,�83)3'��� q�eA Č�� ]� ���`��m�� ��y+����KJ�s� ZaA���_�Y��W��c %��X$uaճ $HQՁ�Ifrb R� ���I# � �F�# -4� 8,�� � ]�L d�.
$�Y�� ()�[ �j�� � �T��U�$�$�*�� �89 ::�;z::::z : �We �;::��:9::���� �ʒ�r���� ��` ��^N�` �C@)ǫ KEj�5st�tq3F��������� ��Լ�ԢԔ���T����l��K� @�r�RP� ���[�� ��n ? $ �àd �D� � ,t@{m�QB ��@��N &� �� 8� H-�� . �H������� c������� e ayfJ~9hGo 8W�w$�b � � �S]\a9 S� C*%���$ ���3 ��` �`�X� �ϭ@g �` Jѩ�J ��Ћ�R�� i�E� ����� " I?
�r(�&� �#ݠ���TP;��;[�-�LM��w�� �� � Ao �eBP� Ǖ-�(4 � �� O�AU�k_H�K��. nf�. t8� gI��&��(��2S�r* �� JfU*�� �:������F�= `�#� [�1DNC ��� � � :�����$��D |�.
x2 v." T 2�� 9j� �D = rޞ�����%��~J����)���DK% � ��)���$���H�)��� NFIn�d����Q�] Y����D�\�)� 9�F �$�Y � i�Z8 �'�x� 9�;�x� �NI4� 3 Z���W � �奝W`����i ��l���h^ ����i �� n�\� ����SV� � ��W� � f� �m h 9 3��8�@;��0߽���7�,9-B���ӯ �. �!
^FU%ea�U�%�^�)�U9�� ���s ���B��2BM�R�,�,�C-�=C,Ls�,\|�}rL,sKBR��� � B�2 ! ��: � d� EF �W&��k U���E�:Fx� ��k�������� �a�|�1H#*&��D��. Y��:) j�i�GTq 5NJ� ����d�a�� �.
�N ��@�2bK�H'%� �� 9)� �I��! % NJ�w � }�h�I �� �C�`� X� W��'v�p2�4 � ĵ�ot� � �J���̂DP�� ��j��Լ���TP� �uP�-V(�H,QH,J +�/KMQH� �E��ŐS��e �H�� �I�E$������3� �B�� f��L:�����=b� �J�R KA'�9 �hb^�BHQbf^f^�� ��@4#@9 � +� y Vߗ[�Vf'� �. K�(H�+NUH.
����A]4 �� )��e�)$&'� �$�%��� �5}! � {� �[ E�e�ř�y�� �� ��� P�. �P�$}�c� k �FFz��� R+2�K@c�i�ə9�%��Š� T�� ..
V( � j�&� % d(h k*䧑� � �,ݠ'�B����A5(uW "E �tH��- LM�h>���r���N$�t�$�Ĥ��T ��4p�/I�(H� ��* %E�y��&/H$71�4-1����1n s C�9nV� D�������������" ������� pw E �h�K+$�� �� ��_�ΐM �^ xl��4)7� �� $% �d �� �. ��t̓C�i�� �Y���% ��%9�y�(� X��Z�P�������� �L@M�DP�(� � R���@y 4� �N 6� �0 嗦g@E � �xAi �j���P w�� j� 4 �\� � 6600ü���� T=A�� �Q�+FZoahdj��d6���vu:(6 繣�a�3V� "q� ߐ� �ff�NnF�h' Z�Z �A� �' ��^ s� l@ 6���:� �~�KE �, �\!
w�в��\� ^�0z oF�������� ���Ԍ̼ ��d��e9��٩���r +�KK Z7��V��� d �b�r� � Z ��NB�U2214�ުT`U^�X \X �LI-� ��� P� �|� �^ ���3z�� ���� r��� �(g�[�ۄ�{�H;~������� ��h3C37 WH� ]�V�T ?
x�ޡ~F��� �N�52�3C �kdTPb =�� * ;� ^ǎ��;�N� �أ��z�VX:���;z:/���:g8�$[�u:oIzE�K`� Y���U%� dz ��8� k W� ����� {d癛�yhC 1�/ 2-�-� �, �� �*�,��J�� t�I�H ��L7� �� �+* � � p O��+w���H�*���,�,p �) � �Fi\�� l�c��_� Z�� �m��YRᮟ b�aZ�� j �j�ad�d^Y�\ �䒙�SP f � ` X ��]Q 9 5�Х47 ��f �^E�Y �� ~>�>��yS�}�^6 �)�� �J. �-�� ��p7�J,0O���L� 0614�/4r�J �(pJ4w/��2K�0�v4)�˩p�sL�6�+- s ) ���_ l`��e�Ve ��mZ \�_�Z�Z ����\��nQ�� ��� n�]hR RX�Y�c � TnPe � Z e � ��r?
c�� ����L� �lOW�̒| ���$���0�@3W7mS�`��T� �� �̈¼��(3 �HKﲢ,�P � � sJ� ˳� �. �^>ڠ� h ����� �cb� �$#S��pS� � �d����`S������rWg�@�P�#�� � d�[F::::��b� t�2��e � c��$ �2� �b ��A H����u;�� ��`�$��)���WWW� ��Aڡ�Q� y$�C�$G����� }�"�� �h���K�/ʅ��!
9 �^a�D� �\ �K��/'ٛ�-*A-~H� ��]+�K%�E%lN Ǻ �[� {4�A� KJ �3H�&�v���� E�]"|'�BAbzj1h�m^jrjqqb� �Oɍ@�#k����"��� h� �y ����l��L � >9����� �H ,D`�� h� �0)��m&Fn&f�Nhgߛ 8: 8����X��l���6���B�� ��ƪ� �� * KE�� )�QFn � �th� 2:C��T\E�� u�s �K�RA PRS �S��R �!
N(�s�W+�� �� �i,܌�, �X u���N�(��� v)��� ��ahjf�h Z�G�}"$ �Q+q��A���D% �L�ln`fi1 Å� m� k�1v52u��6� H8x7�c sGc 3� �X`�'I�T �F��f�0���� Yi� tf�hҀ�HK�JH 'CS g���PS�h�ix ������ ���ц�����$ïEk癓�����w& � ����. �I�ũ)D� �/A�h�·͢ h� ����� ��@w 3� oB B23227�0@� il�f�h i � ! �;��c�t� Q�#�V%v�()��� t� �!
hۀ��/������ �9-% ��ӗJ�@�S�T*��'���'� W_"� ��F�N�]�C;t ��R�� W ' z�W��>�|@1����D"�� h�?
�2� �9��WnЌ M� �G� � �� �� ��������� :kR�ZQ 5q4��tq��S ��ȭ܈ � wcd`njl ,$b0 >r�4�o�ldh �� ^� ��100urq��� G cA�;: [� ���� � ��@3�L�o� �e����� = h P���${�n����:x $ɞ77443���G�z {�T�Y�( u �� �\gqf ���� � |@ ����Q�L₈� Z4M"v�o �� ֙��~ڈ^J:����RR�ux�� R������#�P������є ��iZg`�Cѯ &�M�f`�dD� o����[~ xWQPjIbf^j ��U����� � ��\�$# t5tN�BR� �Nr��4�� � �BbAANf2��[Ե ��5�� �u{��TĬ�ts17p -�D�훚 Z����v� �X�z��Ζ��.
��=P��}r{���ĕ�@) :oA��\Hs/�^� D4�( ��H��X �c �! h7X� $���k���T� ��|�����̼��b��|P! �� ���"�v�T� �xMD�]�������RZ��Z� ��7%�(5�$� r�pj �TP Z��)�d@�S*���P+S� R�S� ��K 2�@� �*$�U*d�d�e��&� �� J� { � ��*@�*�� gd (d�v�� ���cb� h�i���*lsZAQ~ZfI��BjaifI��BrbAfIb� �IJĜ�T�F���) d�BrFfN��BzQb^ �]� :� ��� ��8UG!
�$# T � eV� ���Y�������S�P� ZX[����V�� �= �,'�� h��OS��w�[ �Ww����f�] �Twp��՝������+�� s( �� ��ȭ� M�f���f ��G �G �S�"� ��=��*���� z 3m� ����^X�� 䤖���0w62u��54� � t�� M v� ��% ��laan��J�Y �f ���qM� 7��G�`g ����W�� �6!
9W��� ���"ڦ r � � { [�Crz � ��u���� s# ��_ �~c��H%� ��[X�\� �� G� :W���� ��|�7�p� q+xGL ��ƅl � =p�L��sl m�]��g �b�85'5 �$ٿ |U�� Ʌ�����+=֮�6a ��s���a�8L ՋS��i�Iϐ��q255u��N2��op�0ɰQ-� d\�4b 4�G��3N�S 5� ��k� � �� � ��I ա��Ʋ���'���Y� -�! �~���OJU 4�%9�@���@�� dխ�� ɾ ��ngdJ�o q�@G! �h�'�A =F�: �ƣ 4h�֠ J�KQ 4 ��A I$ �t�y%�!
�:$C�����H�� �� ��@�x� s� ;�� A7� ���9�i%�J�F�KM� �ť�% P �� x� s� 4+������7v17uut �A/. n��n�]6C3) ���5 ��1�z ~�%��O�; �8��cd���� F:�R�B ��=2vz �X+. HM�L�$��7�� |YVf~ �m@ #CGCbo��+Fj � �:��B�}�� M ,�,�G+~��.
�V��rCZ�Kz�����ѕ���� ��\MQ�s�:Z ��� R��������� %/ \� }�? q� V'�Q�˨E:�(E^ mfl�f@� vZŲ � ����� =f�h�e�p ���-�h�? s�$dz���� =v �5 �:Wp�'����/*KU��O"��?
�c? e�ž � � ����h�fB�m 4*��H �p1sq��j J ܄ ����(�7 s CzܭA�� /�%c ���� ��H�v �=� �cBr��p202 � ) ��I / �r^�. ��y�� C�t >:� Tǻ�� �/�D.
� 4ݪ�� � Z�Fư�>>b8' �G�V$��(�v�$��g�. -J�O. �M�+!
���412��EVT,g�@KFAW9�W�f�w��n�+J-. �)�l] )��+K-. �MJ*�ĤT�ӀĢ�b ' � %g�G�\͍ \�1�D�`�^�(��f�� M�r % =o ZL�A�(�������h�)�fB��"= �bt�H�.
��$7G �LL� ��� ��� �|�I���C0#��''� �/CM�Qp�O ]����P��Nz Fi 75%31��\`bhh`>,�B�� ��Q255t6 be �fa������ԍ � �/� �ۍH Gg3 3z� O� �m[ yd � Ŵ`G�] rC;�(� t�5� ���Ҽ�J��ԢT� ��! ����ɉ%�)��� ��Kr� � 1 �d� �q ��> �� ҽ9 G 3R H_�`a`bi� ^ �� ���������y4�Gh��Y�� :;����N0 -��2s2 � ss 7 7���������! dA�h�o�����KA�= l�LLM,,L Ӥ.
�i��9%��B�b��_ C7 c���������9d }4��q� ��:�� ��a � F��)�9 忱����� �� ���= J��763w� U����� #��F�F&NnƠC0G� h�? �UQ. ���Ơ 1������� ����fo���d�f�6(hjin�l� 9�g�Q@n� �$0i��`��Ĭ���1h� m �϶�Ml'9�֣���aB ����S9��%A�y)�E�) ��NE��� � o��H����'ΕC� �B���WbG��]� �t�bo $� �K�� ���2 �Q�YD[:�9;A�ׇ}�,� GY�DL�e`a`hj �~����/�N�/J&�|� �����FV�N��� ��� 3�2��I.
�L-� GJ >��� Y# ��LB � ;��� ���* R�R2KJ�ȸ������e�d? 2Z��)|`+�q^,���N �� Z���_d� R�_����_����� 귧$��V� �� � �� �[� Z �陚[D�T�v�� ����A� t�% Ԩ7s��0t1 M�� Y\RA+� U��6�Pn��� �Z��� Ua �,��dJj xT 9l���3r5�0��]u / Lk. ���$�� �> � w� �]b^IfrfAb �u�����3=� ��wI?
� F*� s���N��8��z ���#u��o� ho`dd�TJ `�&�I�k3'3C� �D넟�_D�5������ @ ��� dZ �l)P�� ܤ���`�����|�Uo�K? ��Z�g�! X �% �'g�Ӡ1u56�˘4�һ � �!
��ӵ �2�� rn� �%� �5� 2'Wc'��HC�d�=��� 0r� L �� M�� � &��� &�˨�� � t �A�ǧ��i�� 7�($�U*$� �n��/BO]�;��& �J��&� P� �83� '5 � |�dQjNbIfY�G*�TJ[%#SC33 #K %��Ԍ̼ ��d����� 3�2���3�95' |�ubNN~� YjQNb X���� �R� [%s 77c S��*�DjJf H������� � Vpw)T�m� ��}, V���P��(? �V)7�(=3 F`5�iiũ%vF��� 6���b0. �U� I��ah��ʅ��Ă ts�ML �� 68�� 4��\a�dffnn`d���\i�dfijdfh &h���RR~IFpfJj1�����" Ђ.
C%����T[%�J �� hӹ�*ٯ� ���d����TP&L� { *ⓟ�]�P���Wl�h��QRR`��_�����X��_��W����_��XR��_�� M��9�F f����y` �" �m��ag w�KbI�BiQ&�ss3�����J���s����2�S���R� �������b�y�� � ���/�*/. �i1(�� � J*��+@� dmq $���3 ��S ����3R S�A*@E�~y \/Ġb�)I��)��J�sd�@&U� ����4���h Z��75�'Z� ((*. qO��U 1l��R�K� $�� ��]�h � � YX����▙� � �'9� )����� $ �P���)��*Y� �.
JD�+F6� ����Y�Z����k�d�P�h > �S �J 3s� �D�� ��Q��I��ޑ>���9 �������� �顎� ����N����>�������Π@vvu,��5�. 3�T���. ������ YL���ws�q �,qDj$�]� ���A1������)-97�8�Ң L �4 { �j�����Svr�oYT�WY��e � ��J� A = ��A� ���� u�4N���I� �� ���� uP � ]�@ �� �J��=�A��?
8��eV � X�Z�Ж! �Q �V�G�{/� �s �! �l ��)h8 � ܩC J�t3pq ��7.
�g�MPn� � ��B �O0����E�� �������� �g �)X������ 4(Rn5:g@�9 �A��$@�9 X? �D z� ( ��Q�ܶ�_n [�*I o)-IʁjN�A��- tˤ{Qf xH� � 4�X ��A {[%C Й�V��+�(��� �9�U �Vp�� U�� �P�hIRNA�����)� i�da��;\�ܪ�V��� 4B]n ��T$"���烮� �" �8�ݕ�YT\ � � 2 |j ���t��)�� ��[��a `%y� N�y� �r���0 2� }C >P`�RAzQf�3��. �� �ˉ�� �� �E/ f��..
��! q ! ��5 lg �: : 8��B �ق%� ��$C�:�Ph g��RYrNjb (���SBǎ ʭ�2A�0� +�lO�UIFjn*hD Ո �Z ��6@x � ��#ܻ UH�#�,E* �-L,���A >� Z � W�e ��B�@ >E�� i�y�yɠV>��� 9q�$# R0%B� �]M'sc3�!
8�� �. �^>�` A ` :-� ���n%. IF� Q� �A���aU ����Q�� ���� `��o ���� :�� � P�.
�#_���q�7�����H�9�y�S�]�� ��RPʂ Ď|u ��k�+� �Lqtvu �H �J �;Go�k\0\�T � b(���nN鎐ò ] -@ x��A�ek � 2� �� � >�D� ��� x� . ��ǁG�* ��G����CϬ ��BO� ͫ"�} A��*�� OˬHE:� �pp � )�pp���ÿ�G��y`I���A�( 8 � ��F� n �[�l��s88��g� �DD �}8��������%��R MOɉy%� 9�K�ʭJ� 7���\ �@. y � ��`o�b ��d����Ԣb�toI>h� h[|nbQvp � �r� h�}�WL� ��.
���,�L,��� } :�1�A3: ��*3/}pF� l�r�� ��8�U ��r�� -�`{Ǩu�� �= �f��0��"��S��QRT�:t�aI��y �F�H�Q� ;bO� ���4 �P�h# Z�&� �^u�k��Q :q :w1�;��i����rm4tk���b� "���{FB � � );/� :1o� � ���eЏ~! u1���]RjNfj � ��� �kI L�L]-��Ѷ H _� ^_ :�α�$#�(�*5 ��2 ��$ �g_! 1 ^( +�f�u ��A��$�f�����(���Qי$ +����($ +$��(�$�$�����i�� A SQHJM��M � >� r -x K��KjAb ��G��#~!
�����#hm 1 ���1 �ց ���F�B>�' �É � � ,�M� �` �T$/ �� >�v���G|z0t256 �tXz�� )=� #� CKs G���������� x�Z�U&x�3x5�����)�:B����[����� �� Ѡ~0Z�: ; � 6�Q �USS3'W��8X�@�� #Ū�����1� ����% �9ϴ̊T���(�� � ���#V���^/ V �'f�8d56��A� l�5� m C�Ro�j�"� 3,������+x {Qqf �5ڠ Np�R� ��ļ����� }p\��a��Ȃ�}5�8 �Hq�XL]nEl �� u b� �F �� l�Q��H� .
�`� H� �L�0(� m )ḴUJ�IM, M�&��� ���r��̜ p] M�% ���n`AР b ty �,*� U A�y)�E�) ��NE��٠� 4B �XT����K W]��� �MA� �r+J]Y��D + ��\$; Z�PӑvΩE%�i�����Iv ݂ |�XHb��3��N ]X撟\ $�ҙ`�M����d S#C7WWPc����h鬄Rی���� ��3�� �������5&��mj9 Tl;�� ����*���*�� )�::{(���;�(8 �x:;���X �>��&C6� � ��C�)>���&Cv���$�$3/}�V�C6��g� �92Ё�Cs�Ϡ �0&�o58z�� �������A:�8t7� �Y���H �y �����2! �� g�+�vT+8� 嗧b�hWP����Z : r3@zQbnpIb ��i� �iҏ@. � �*f�!
�lm���7 �! Z��� � +��8� k&s̓]�10Y c� t~��lU&��� ����$�B�1�d�6+�lA������Y\ � A! i�X�\*'��:�>t;BH����' �}��=o7D��`� %楀և �v �^-" /� �A�|�� �_9( �Ѥ ��%���;��JP �`̙� �&e�&�� �L�sNᇢ"�+ � t41��� 0�� _���S3�DNf^*��e�Em4 !
����O �5p�� �� -�$�|Zs�����iM-A��ļ�̼t[%H��� ߭tt���N�\� � ��Cv� h mОV;t | s� �a@Cj5. r�^�0XO � ���Aڝ ��6� � ��?
d ��4����9��yŃ��ʡ�k63/9� t � -S���ˤ�AzD��- �� i��nj �s�9���%���ڡ�R �֠��PsK�2�3 s k `ȶ���K�J* i� � �y1Hw� ݣ�� �dC+D�O|a� OKMI-J� |c ��[8t�6g$� �� 2DŽ4Ԋ=� �����:Ho�1 ���i�9���2��K�'f� � �l �� ����[] ��cCw/nnbV~Qf�`]�>d���ĢԌ���ԢA�}b�Nc � 裛rQ�P%� m���&Cx�-� 1o��� ݤ:X�����1�v 𐭠 m3u�Õ��;H �L0� ����4��Ԝ��;/ �>k t���]��e��`���� ;Њ�� Й��V%I9�%�9� �Ve�9�J! �I9��E����J�r� ʭ�m��I r�ZbiI>�n �~���l�v G���̢⒠�r[%CP� �� s#77' ��-�EfF���fnf ��tx�!
�3�m�� ˁ����`Ow? ǐ� W ��� � �#! � ���4T�֒p�6&� |�F�:��x�� �1G /�k(�� %v�nn�ήAV(y ts� X Zɀ+ �� R�Ѫ�)��K�I ����9�E�J��A�Uq��� H�� 19 \���G� � G���������mP���-{ �5 J� � �@1J^�������p������� A� Jx�N p�H)�������xP�K SJE.
> Qw\� -�y �Aɕʍ\WS 7 pg ��kj�li�fh>��-F>W � bPl�be� �x h�}@��_���~Hd�+�� ׳�� �S @� �R �����A(�ŘU�s $� U��y� �� �� ����̢� q�! (K#�WP��s� ,� =��� �=0T�� #�� ��'ѧ� ���H� =%;X� �4 ��� 6� *�0F�H�f��q f��dC �7bb�f��l1��Ci#�[% �b��D*�A� �t ��tIao�������� 2�[�ZQ ߅�ci i��R? ��r��!
4� �`�� 17qt�t� uI� �(�S ��̔�r����"�@ � )˝�� @�N e9|� X�� A�b�%��憖榠�̐kb 7c CG��U����[a� �$��*'3/5�4'�V)�"1� �Ӆ�E ��,�B�7,u����� h8��x�+F�7cKK7Gg P͎��7vs10610 �%�L-@�� 1 �ͅFT&x^ 4tn�dhl R ^Wa�d �2��H�K��K�U��k �#}˭� ��ϓ��A� �~3 GG�6~�lk�d�f�b6"��� {��g�S �q���T �ԂĢ ��N ��6 � ����@tA~qqfRN�� d9� ��TЙq =� ��ȡo})(��Os- �p�lLL/J� . I,� ɰ�"�Z�}{ gX�e�)�7L*` ԃ�3�y��� O��: ���$O�+. -JU(��MͩT((�ON- Mk��$�B!
9'5�(1/9U!' ��$�HO ���1�W��[Z\���S� N �%���s h{������3���e~�Ur�: ��, �K! 5 �� �A�'�$U vF � �� do [ :9 ��p� �F��}b�l���:�|� 9��%��+��8� k &\ �`�+��,JQ ��W�b� �2jp� Gr-JM�,�L�#�`*d/Y�� �X d��� ������9$g;KS3 �� * q�HZ~� 8ӑ�%g3 gH�d��d��� �O�� k\ y���� 8� Z�dT � �d�e+ Ye��* y� Bs3�;(-.
� �Ma���P '� �x�ht wk���_ � 2sr2��3�����PB@�� ��1̃�}=� j; 4� r:�� �� 1�! p�H�! �A,|�m > �e0d���CDL��; ;le�l��j ���b���hf� �A �2�4s55ws W׃1�� q [�� � [�CO�G �JN�+I-� �� W*��@GL��Fj�]���M���7%г,��\-M�� � �ё�L,瞔[�s� j� )��9�b�hjd ��G�� ����1bz� _Z� �� 9�*�:�9�����hTL@�HP� 3GC7 33в>� ���� ����/&�6 X��~ ��` ���RP���5�1(���/D��M�����5��UA-1��Z��������Y�?
�? ($��3$ �� �+ *Dl)������� t 1RJ7p�467 ,+�GS:��((eг����M \ �C |����] �C�\]Ct LPR4��g��RnU�ZT☓�� 0*-H-*N. �,���D�j�B �� �"�h�o ��d&x�%Q� |nw�U�z��a�� HYĎ���=A��D�؆+F*� ]̍]]]�z��Ƥ��a=�A�0 G�fhj`� ����,� ��9 � [8A�͂v�#�h ������:�K"h�F�, K2 � �V6�]�VI�U{��� ���6 H \@@�i �� L �� M`�P���� +�[% 'g�j��P� �L35/%�(5% 1=թ(51 �� � � � ���[~�BjEbn h�~b ̮Tp�-�/�.
V0����"H��,��� �N�̼ HJ�'nP� � �� �E �* L _R��/� �H�! �)�*5eh$1 h+ T �#�+ s ��K m$P6K,J� �]JjYjN>$ @�d�%� A�A�h�� �%�Y�� �kP�85 r� � 9�%� Ԯ 77�S�uoIjQ. ( �*n�B �sldd�d 92� c 8�M24ЭLM,����IEH%�]Hb��sQjJf��czQ*�b G (�A �����Ԣ�Jh�� j���&3/5E!
�(? RD� Q^�BYbNi��B)h� X"9�� � t�M&h�jjq� �WP�Z��� J���" ��Bm���R:0�@�KAb%��*&Ь �� :� [����� ������� h�)X�@[ >8�4� �2A�577v131���Ѷ �=�W���'� ,O��'�%�U��[� �l��*g�� �� � ̽�VD r�� j�C[�� � � 5� (� W۠� j �\�����8 D�Y� W� @ �kV��=K��Tx�s���q�BI>h��(595��Ȇ� � )iaoނj�� F� �# `= а 8��*� hi o�� A� \$� \��$V $V� !
Z�V ж0RG �� �a�(��(�d�� %�H� �4� �_ �X+d� %Bf @g "�D� RR�J`] P�)(Q( �&$�%� �i �fj^ X�� �A��Uk�����PR��� � �褦�BF �Ai � khA���� j���fIFjn� X�$�� ~�;�ZqP��" ݎ@�J ��K ��� �� �xx�DBZ(�*N) %�� P�(�� E4Y�@��˭2� ]s sCKS s� L�] � ���I� v6p^j �05 � � � ��6 ����*� +��dd&��s��� *N)� $���� �@F9� � ZlT"5�7>�5��4�Cy�ű� 6S�� G�h��sh� N ��4H�� ;�Ԣ�̴�dРG~��{~~�B0h [f^:J�'�ߖ�掮� @pd�A��A���K�|R� s ��R�g� � �c�Q��� :�� 4���W��_ ]�����J���P.
�$�st����J�j x�� ʂ���� CX� ɓ�vA� E�眰�X �{�������. ZX� �Ng�\HJ�� W�4�gd��h`� �D�@ � \� Э ��>���! �] �d � �� � �� J �� � �� �9� ��7M H ؆ � � M- �� � LL �� ˖����� J�c���m-� W " � �� �S]\ae ��Rn���ÐJ�*-.
�L�(�L ���0����a�|� =@� D� �' p �~��h������1x> �W`c � =�{?
� ��5(�p�=0 �G�a� ڃ � c�w��G1�7��&��v ��^I]s��횜����$} ����ɕ��'��YX� -dAB8K^� �]� �ܠh� ��)m� 3�dbnl�2$�-��� H'g�����Ō�G���'�9 �ϓ�+� ����9��������� r� ���`���@� R��I��POˉy)��E��{��-� ̂4�flbjhli � E3�ts6s2FY 7:r��;;(j P� ���7������ @��o�W ��#RP� �gP\ Xu�4�t /E -�"P ���dj�l �g��n�Qq8(&r ���N��e���po����� �5��� \1Ro������� m��蒫b ��r����� ��V�� �������aE�� �� �*3�452�46���N0 �C�* �8*� �*�� �d ��$� |M ��T��X��s�ͣ 4�Hr�+)'}� ���!
� q{�� #}�c�F���� �jҧ0 qA���X�P��� �- tS + ��(f�*� ) ���D�4=��7v444�ǡ\��O�k� �� �=��e3�� �� t�(� ��F�Q�ϏÛ��ǣ�NEA as�� � �A�� �� �L+"b ���fNF � *@�_#. [445�4 1 =C�*+ �y ��J�� >��������� ��@f��� �0u��+)V(�J,N�̴U A�xB�*P�64OA �,IU(�I� m+�M,P(��L�P(��//&}pn�\�c��_���X��J�r�! ��i � h��̒T�b�7C;� [� �[RC3� j�� �SJ�1� n��Jq���������� l5E (3 �;�� �� Vp�/��L �^݃"��X\�X��h��"�o"��) t?
� P ���� �)%�y)�`��L �= � �� ��j 4Q���] �=���;[��*�� �}�_���^� ��@�Q�d �4�Ĝ��ĔJ�M�a Vv��%�I9�� �x�� G��( g�fu �� *A ْ��b�Dx�H�HM. -IMQHJ-)OM�SH,(��LN�+����_�WR� R�����X\��� � B]��� � ��F � t���-�����v(ءϋ���V���d� �*� �W�(x� �$�)x� )�%��JF F���F��f! ��V&FV��z榆Q �aPsCs#S# Ch� � ���%�� P eH�cJjNHjE �1 P� �� �.
�)�9���C:dJ���KPG Fl� ^��� �(L!) T0 嗥�(��+ �&�f��*8�� � ��O�Q��ORp. JM�,A[� ꜁ �� ��Q�� �U� �E��)�JЩ{'%�(l����� ځG/lh��� t��#� t�=�g��7��# Z}l @ 3�5�C��1رd��� i��������� �Wr ΨC�'��� k�fF e0�`t� �46�0s5 S�� �A�ɕ�9�y��MIQbr �)f OP3� ��/ �Z� �T=��X ���d_��� 9AVy�(ذT���DA#��% �E�&;h,%)'U!
%? �475��cކ��j�ٙ��S �ˣk���وY� J�d�� ╓ �! ��-�Ik��JqML�\y%���n�4�� ��A!
%5 ��A� ���tT�N WG 3S7�1�H Y � �8 ����� �ɤB;} �� 9 e� �g����9 9[ ½r� @�O�[a; ԌE:� rT �t���� R��[Q7f�-��]� A+ �� C77G #�ø� P0X�! �X�t�P9u �G �~tp�%��S����T����J�� n 3 Csc3K3P# ��F fX /�M$XdF���L[%���j��5; g��;�ڠD��Jp��#���56�4��0�� �h�� ���_��� � B . 1�" �t 3�h_�?
��5hd Z �������L�b �� C�9��' @ �GRRR���2�R ����/��\�q H���_�u�� ��B N��$ ��k�� ��A�d@٠ �� �d G��� |t ��@BH�s A�� ���4J~� � (G; g&�*� �H���� � � �p�Ep ru ��sW��w ; 8/5 �i _, ]% +%RS �$Aj��Ff��y���� �� -]J��V`� ��ĦS d X#�m���RHW�8��5/%� 2q�� Wc Z�"_ �g %G�f�Aq hL ����s� ��($� � �u� e� W O�0�� _�y��R`�lR242446������Ps �7Z � d u��������1xa�`��@�C��� � ��pXLOP &N�~�n�! h��@�EPK������-��L\�]�42 n����[�A-L�] Ӣ�ghadn��4�����8 T!
�wSP{�9� &0g J�h7W �(��r1�p�0� � �&�:Ď#Ӑ�rq636 �7���700r35 /���rIMK,�)AYЀ��������ut T�C���x�9RkkZD������� � 0:�C8�H��h ef�n��N���j��b P1� �9���NƖ�N��ʳA\ 8[� 9[�F F�6$� �������� t �� ��N����V8r�`(��� � �h �� T(S�463w�t6w�7��#� ���������� h � +� �3��sRA�G(A��@��@ % �����9�E�J��k��fU\e� Z�bU\��� �g � : f'��L�/)�ϥ��E�1@ ��� 9|�3R`�N�IM, �&4x!
��[�e���*�X� H �n`��������Ҽ p��e�3 SRAz�i�ܪ�1'3 �ɩy%�E`)�s �Eř��Le�bili ���2��̔�r�9XE�9���l )� �K0(I����ÐJ�*-. Ũg s � � p�[A� �. ���L�� � � 0ǽ(� l=��fP� �ä����Ģ����"Pё���j� md`h`fbn F��L�U2 1P��`N�y�g^JfYfJibN�BbiIF~QfUj�BI�BjEjri �6 �� I�9��z�7G ��˭P�8� ��+�MJ-R�OS(�L�K,)-J-V(J-,�,JM�R�� P�� @ �9�J S��rbb � � ' 7Gcs�%�&�.
&. �. ���'�� �zż� ����� �ev(�~�>d� q�/�ٻ�.
Ʀ��� N�� � ̠U X � vf��F�� �"� � �e h ԍ��vP�e 'A�B�A�� �Ka �쥜��� $Yk M�, �@���+ m� �A� �Oc �%�B ���� � 110�tr14B�an�bibh�j�\�⻊ �� 3�JЃ�i�> uEY� x�(lf� � +��\� ��r�� � 4� r. F �ͻ���L90�H���r�i�y)�E�) ��NE��ِ X%v� 9�ɉy% ��Y� O� �X#WWS cK� �G�X�5蔏�c ��V4/c�%. $�aiP �T���mHbRN*�� ��$� \�e��m P�f�]C`f �@i� ��` a3 ���hW� �2 ��CUmh > aK�f �`����� ��A�� � �xCC�"XL� ��� �4�@c(�� P{������� Zj��J0522�4 �*��^õ�� �� �5 � �~ �$�2փ�� L� !
: W�Tk��89 �;�� � �m@������p0 �7:㎾k �� ��>`� Ԉ �tVF)�Q� �� h� z"�,�A^. B�q K3WCG'�j���� Έ ��B�wPQI�q* #G' �ʤ���0~њ�t;#�Lg� '? GO�`��'�=�%SC3 ��a��1Pu��� �� =�1� ��״+�\�-�M�GW��1� k�� ���!
X>y�(��� ��W��(vLN. Q ��2��ጾx�ޫoM��]��. -��)�@ }I GsC7 |�&pM�[�V� .'
i�N7s4v�0&���U �S3ã�t*-��K-. V I� ��46 . %�^fB��ss'cG7 Ц��v��� .
����S KS����� �� 튒٧ E� m� �$��BfF "S ��:x�%� � %��� c m����\�͜ �G ѨЉ �px� m��(,'Z�� &c��������� �7�y �\�3T�0� �@� �c������� m��������Čس ��4dL �� i-)Dp��uA~�mц��ųT 4�霑�_�����S������t ����� � ! �ъ�|o �KAʭ�SJ@k �SJ�� (喟W :�"�893�V ��m��F�� ȇ��&�ә��t �LMLL���! G��� � ���I� v6p^j� � >� �� � +LM��D@ `y#3� 'i�y%�J�� ��% ����� e�y8uB� l:�AZ� �n� � $ �SJ\�R � �eqJ �N�� ���X(H�,���A) �� �#wC�P��OA ((^"ByK �J ��y3W CgC#"�s �.
m��������uP /Eg׃�6)k�@� m,²2�| :�ͥ�wA�Ȑ��b���܂ļJ��̜ ��T�a7� � � |E� x�B"���H,QH,(ȩ$�� 5 i;�B����� �7@��_0 � �f� f�� �qDH]/h "g%������ � {; �اڀ,1I � [. �ջ�r� \(外����af2x[ ���H,K �Rc�����b p�MMQH�T( ���s�2� :�� J2Ra��h k�)�&&g � rK�K ��(���E� ũ9�ɠ�$ � ɩ ۰�����)� � �k �x� �� � �# Xd n� �Нs��c�������S�� ��5425�0007 Y[ HK�( }�3?
qCԣ�_ �%�༨��7(�x�*x��� ��� ��� #d���������1����[��z��q��B ��nX�3 W2bo �:�z��� ��b ������ t �pm �8F� �#>�8����y���a � A� >| �o@[�� C�H����� h�/h� ��W� [%l�g �H ]:��%��l��W�U��%����VC�lC #�( � D�� �r�r[%#3CXY :J . n � ��D 620���V(� ��-�(75�ܻ 9� t/9(ţ�����! ������� �- 3s2q6p Y�3e�:� �y�3�@n�v&-�{�Ȃ�Ά�f�n�z ��Y��%����� 8��L �3 �y 7|7Q� e�& U*�� HL.
_���҂���, . Q��=C�$J�ÑK7�e| '#KW#Wc%�� �u� u3������ � � ��� ������ �\�-� �G�>�Ӿ������h� ������������ ����m��:�C� WHfI ��1HZ"؈ �y�V� ZX�: �9�6"ʭ �'%�n � �v�S* ��tp�Bڂ�m� �������7�GW� �f.
��&NƠ� � '#0x�q��5713 zNn@F~ YE2x\�nE��������^�7� t�� ]�̜���i� �@�#�nۚY��:�� ٍv� @�Eԭ� ]-�, �LG�k��5P � �z���֦n�F�Ǝ��0�" �j������� :T\ oldj��b�:� �0n�9C�����e&� +�+��� c |/ M���Ӓ� H_�$)'��2' ��;$1)' 4� �C � MM@Kf�� ������gQA�@��2]jlf �u �I9� $�J "r1h� i� �>EKsG's7|G���,�����5� 3 3sc��]��u� ����1�$ �{P��� ]� �n㗘KN� ��O�� f�n����83 y ;�kp� ]�,-\A ܠ Ơk|��� �632 T�ԝ�r :e ʺ%�u(��kH A|*�E{�������m4 Ö���TL`� ���n�$�Q���bj�jhnN������� h� O'������� �遨rIMK,�)AY����22v34q2 �� e H� _9GjmM�(3wt510w2 ��Z⢌Ԫ� Qfhi`a� Z�::���#�Eilda`�jj�o6�J�H�� GCs77���D��`(��L M]� ��;�q� ���U���461��46 ] �h�4 o7�m�2ts�0u� �XG+Px � ��������#���A\ ���XX ;�kُ��V� �AQ ��:�ZZ��/"� mc '7KW�Ѷ1J�Ѣ462q53�t ���������%>�ƃ�461q�0� ݨ ��D B��� �������etp 5�hR ��64�7�2���F �fffF�z�{ u{ I���� ogl� ET���461t1t1� m ck � e��� �̓�� Bװ X�`����b`6���� � H��by���������J aN�tnn���d�2�� �V� Y� � P � B��L������� h� �Q� ��"���� خ #sP9e� T��j��Z��\ ^c r-L t� �d 1�g` :� }Y%�H���� �R ӋRSsS�J 4r2�K �Rs��5��o� �Mi� R ����&� )�) g��%�� � + � �f ��X)�C h4� \�@v�" �@y����� �1�f� &ff����_� ��s �v7� �d��)� �o��` I�oj��d`a �s��� � LE�!
� p= )� �r�Lp5 n#�*�j5�Y��� `� �� }��Z� �A> �~� Q�;�,L�@ d� t4�D �O � �y@� T A7jѡ�h�b`lf� �6�P11P-DX6 e&Pq �� q�nF�� : �8�+�G� �> ����� �f������ 1+KF� �V�z����@u�`� mF ? z6DK PmD�f������� ���A�� 1� C# 3c 7|K:G� �� � D� :�� ��� B�� [%��s}p� :�c�yt4� } n� :��� �� >i�95'�7 ̒�Dd X�9? �47 � � ������� �!
I�L���� �� K�d�-�4 _�kw�^�h�fa� : �R �x11 � � �y�&���H�c"S( � #77'SGG� �������� r ��� �� P1c� =ٚ� Q� �V����2� @Æ�u���(KD��Dq L� ����. 5GD O�[�J�Լ�ԢԔ���T����l px��9 �d&'�(��j� �� �掑����� Z� �j(� �e,�s�ǻ0��r+���H�"� �� �� 0�@�F �� r� �,� ܪ 7y�k�� � K�Z8py� ����Ƀ� �. V�5[P�6f Xoc7���h�!
��C�;��M��S �� U�� �>BSm��lC �} �� �A 8h� ��W ��jh Z(�� Sc����d��� �� j� �^300�03p m A. K\�]-M�O��j��c]� � � �[�gz1� �)��_ �)$ :�;�� ��w� ��� ��~@Z �^+AѪEP �V H/ �� �� o �Xo��J�IMO� ߑn��R - ź��� |�. Z� �_�Ӵ)�8�Y�6�0rsu#�v��4��� K� �m�d �%Ő� �.
�Y � ���:�� Z��4J���� �XH�p`V��Yւ )7WO? r�'HK�n������ c�l�j m{%5��R+ � ��G� 6��0u14 -�Fh1 �JV) � �-� �8��9 ����lU��kࣔB�� xN 1������s47rv26�{�. �� �� g ���W!
��F�r�{��A`GsSW � x�:����N�9 ���� ��=�? ��[! "Æ:�����#� A� Pj�$ � �� 4bA]4p��܊F sHjx��=PK�94(��/D���%�58��.
��)hȆ`f1�m������� |��h)Lf� ��A4 mA�p! 1�,�JC# gg'3��� � Ajq J �� ���gH$ E ���� f&��q7��o �W��DMDQGt��vE�������9����` 1� �E �� m��� �8����u�V�� T� m�b? �IA-1�� ݷ� 7Q���o�� �(� g �8'��������� h��hS��My TL� \�� �� *� �� �2Dbn��dlI�%��� �N z�h���#v6 4� �鬌R� Y�Y� �'R̩u �c�Z� � |��h�%�x��x�*)�x �胺T)�L ��\�F��F攖���s0Y� x� ݒ������� ;�F�!
� CF ���� �Y�@ �Ӭ|2s3155 �'^ ���! �x��Q �K�-�ɯ �c옜\�@Nyedn ��$8-D��ljd`�jb�o+�� d{ t� � |B+ A x����y 3C c|� ����%h�:�r���t3gW7 cC��'���h�"2a �rҩ�83/��X! $���"����{� Uz$F �f� .
�� �)���m8W� ��������� ;�G�����C� . I,I�̌(D�&��~��K�/*�/J ]iA� � i��8��� �;� ��w瑴� } e �� Q49 ������x � � �] PL� �%v�fL@o�! $�@� 8�54��@�2�� �ˈ� ��� P a�`��� �B������ �� �` �e ��485=?
U! �S! �27)?
T�Ak! ,2(�of^rF>H � ՠ�E=���� �� ZwX�ٴ j���� � @��RM � �aZ� Z X �X �CN)Bm��yám6Z�� �#�]��㌖w�^ ҙ �kxzX8� �^#�kifbn`i`j 9� ^^�{op�H*�Pz��� � JK �i�MOr�%Fd ��x� ��2Kc�x? 2���\ a�=Hf ;� � D ��إ� ' e&� ���_bN��9 �i ���FDi3�`d�df��D�b��y�A76Gy� ��P� � ����� �� �(�3�V������� :�
According to the current listing, eligibility includes: Semiconductor, quantum computing, and microchip companies in their R&D phase operating, expanding, or locating in Illinois. Confirm the full requirements in the official notice before applying.
Manufacturing Illinois Chips for Real Opportunity (MICRO) Program is funded by Illinois Department of Commerce and Economic Opportunity. Verify program details on the funder's official page before applying.
This opportunity targets applicants in Illinois. If your organization operates elsewhere, check the official notice for location requirements.
Applications go through the funder's official portal — the Apply Now link on this page goes there directly.
Illinois's Federal Grant Support Program (Round 2) puts $16.9 million into a single, unglamorous job: paying the non-federal match that keeps competitive applicants out of federal competitions they would otherwise win. Awards run $10,000 to $2 million across roughly 30 recipients, on a rolling basis with no fixed deadline. As federal rules tighten and match requirements harden into eligibility gates, a 'grant to get a grant' is becoming one of the highest-leverage dollars a state can spend. Here is how the program works, who should pursue it, and why match funding is the quiet chokepoint in the 2026 federal landscape.
Read articleOn July 20, 2026, the EDA announced it intends to invest $169 million across six Regional Technology and Innovation Hubs — quantum, nuclear, critical minerals, biosecure manufacturing, pharmaceuticals, and forest bioproducts — after the Trump administration rescinded the Biden-era Phase 2 awards and reran the competition. Only two of the original winners survived. Here is the full breakdown of the six hubs, why four prior awardees were dropped, and what the re-award teaches regional coalitions about competing for the next round.
Read articleThe OpenAI Foundation is putting $100 million behind Breakthroughs to Follow-Through, a Common Health Coalition initiative aiming to at least double hepatitis C cure rates in eight states and localities within two years. Alabama, Illinois, Louisiana and Massachusetts go first, money flows to local collaboratives and nonprofits, and the grants are deliberately not tied to any one AI vendor. Here is what makes an organization fundable under it.
Read article